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Nozzle

Model 4120

High Frequency AC Nozzle Ionizer
Model 4120-1-01Model 4120-1-01
Model 4120-2-01Model 4120-2-01
Model 4120-3-01Model 4120-3-01
Model 4120 专为小占地面积的颗粒去除应用而设计,配备洁净干燥空气(CDA),紧凑的尺寸便于使用。Model 4120 能有效去除敏感基板表面上吸附的异物和小颗粒。红外传感器可控制压缩空气的开/关。

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功能 (Features)

优势 (Benefits)

规格 (Specification)

输入电压
24 VDC,最大 4.1 W
离子发射
高频交流(70 kHz)
平衡
平均值 ≤±10 V,最大值 ≤±30 V
除静电时间
±1000 V – ±100 V,小于 1 秒(15cm)

发射点
钨 99.99%
警报器
电源故障视听警报器
监测
FMS 监测接口
气压
0.1 – 0.5 Mpa
进气口
6mm 进气口
检测方法
漫反射
检测距离
≤ 1m
响应时间
≤ 1ms
初始激活时间小于 500ms,恢复正常工作时间小于 1ms。
红外传感器
光通/暗通(2 步工作)
环境照明
日光:≤ 11,000 Lux,
白炽灯:≤ 3,000 Lux(接受表面光照)
材料
外壳:ABS 塑料
喷嘴:特氟龙
支架:SUS
尺寸 (mm)
134W × 62H × 40D(有支架)
重量
170g(有支架)
保修
1 年有限保修

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