ESD Measurement

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稽核套件 (Auditing Kit)

Prostat 公司提供的 ESD 評估套件，可用於各類 ESD 測試，符合 ANSI/ESD S20.20 標準，並能滿足更先進製程的需求。

測量 ESD 控制材料的電阻值，是評估與確認材料電氣特性是否合適的關鍵測試要求。Prostat 的高精度電阻測量儀具備所有必要功能，如恆定電壓選擇與加壓時間設定，能夠提供準確且可靠的測試結果。

在測試 ESD 控制材料的電阻時，根據應用選用合適的電極與探頭至關重要，這對數據比較與重複性有直接影響。每種探頭都有其特定的應用範圍與限制。

電荷測量技術能直接顯示製程中的 ESD 風險，特別適用於 CDM 控制，用於檢測在隔離導體與絕緣材料上可能存在的靜電風險，尤其是在 ESD 保護區內。

電荷板監測器專為評估與測量電離系統效能而設計，也可搭配手持電極進行人員電荷累積測試。由於不同 CPM 的操作頻寬限制，有些設備可能因反應速度不足而無法準確測量交流 (AC) 電離器。

在超高敏感度元件的 ESD 控制應用中，需要更精準與先進的測量技術。基礎研究型儀器可提供高度價值的數據，用於理解技術背景與進行根因分析。元件測試設備則能給出最佳資訊，幫助建立元件敏感度與工廠 ESD 控制準則之間的關聯。

ESD 事件偵測是進行 ESD 風險分析時的關鍵測量技術，符合 ANSI/ESD SP17.1 製程評估標準。它能直接反映 ESD 在生產中對良率造成的影響，並提供可靠依據以改善製程控制。